工具显微镜的用途:
该设备主要用于COF.PCB在面板上的Bonding效果,压接偏移检查与压痕检查,视场距离测量及系统数据上传CIM系统。液晶面板、TP、COF、OCB的专业测量仪器。
机台特点:
包括:明场,暗场,DIC衬度,偏光和落射荧光。最多可以在物镜转换器上安装五个物镜。特别适用于在高倍率物镜时对产品观察测量。
型号及产品参数
1290(测量范围:X轴1200mm,Y轴900mm)
1000(测量范围:X轴1000mm,Y轴1000mm)
9060(测量范围:X轴900mm,Y轴600mm)
5040(测量范围:X轴500mm,Y轴400mm)
Z轴测量范围:150mm,
显示器分辨率:0.001um\0.0005um\0.0001um可选配
应用于:半导体封装,焊接贴片,环路高度,FPD面板(LCM),MEMS,晶片级CPS,硬盘滑行磁头。
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